一般情况下，晶片制造沸石转轮的再生温度为180-200℃，在此温度下，高沸点的二甘醇胺等物质不能有效地从沸石转轮内脱附，从而逐渐积聚在滚筒内。

通过对沸石转轮系统高沸点物质聚集情况的研究，发现在沸石转轮系统运行1个月后，滚筒内的确存在较大数量的有机物聚集，其聚集量约为6wt%。经有效高温脱附后，有机物质的积聚量可减少40%~60%左右。结果表明，高温脱附能较好地去除沸石转轮中高沸点有机物。

如果高温脱附温度选择过高，则会对沸石分子筛的骨架结构造成一定影响，从而影响分子筛的使用寿命。建议选用300℃左右高温脱附，且相应的沸石转轮内部配件均需采用可耐300℃高温的密封配件。

再生洗涤

晶片制造工业中常用的有机材料一般都有很好的水溶性，可以用水洗再生的方法去除沸石转轮中聚集的高沸物。

水洗再生能有效地提高沸石转轮系统的治理效率，对工厂而言，水洗再生次数达到4~6次/年时，治理效率可达95%~99%。所以，适当增加定期水洗再生频率，可以有效地防止沸石转轮内高沸点物质的聚集，保持高治理效率。

分子筛在陶瓷纤维纸表面涂布，通常是用无机粘结剂来制作沸石转轮，因此当水洗时，不仅沸石分子筛不会出现龟裂变形，而且也不会出现因分子筛脱落而造成的性能下降，使用寿命缩短等问题。

但水洗时要注意水质状况，如果水中含有大量的钙、镁等离子，就会在沸石内部形成碳酸盐，堵塞了沸石转轮中的蜂窝状孔道；水中微量重金属物质、氯等也会对沸石造成毒化。

需要指出的是，并非所有沸石转轮材料都耐水洗，企业在水洗再生前，应向沸石转轮设备制造商做好相关咨询工作。

高压空气净化装置

各企业在停机检维修期间，采用高压空气吹扫沸石转轮。但由于VOCs有机物通常吸附在分子筛孔洞内，不能被有效地去除，因此小编建议需要选用高压空气吹扫来清除沸石转轮表面附着的尘埃，并应与上述处理方法配合使用。